無塵室潔凈度定期檢測及測量標準
1、為了保證無塵室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對無塵室內(nèi)的潔凈度進行檢測。
2、檢測測試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器。
3、檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區(qū)域進行一次檢測。
4、檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試。
5、數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。
6、各潔凈區(qū)域潔凈級別標準：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標準》要求執(zhí)行。
潔凈等級標準相當于ISO級別等效于GB級別
K-1系統(tǒng)劃片區(qū)域
K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬級 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系統(tǒng)包封區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系統(tǒng)搪錫區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系統(tǒng)測試區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系統(tǒng)電鍍區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3